快速退火爐的結構組成部分：

 

退火爐骨架由各種型鋼焊接而成，外框用槽鋼作主梁，圍板采用冷薄板，臺車用槽鋼作主梁，底板及前后端板采用中板。 

　　傳動部分：臺車傳動采用電動機、減速機通過鏈條帶動前端一組主動輪傳動。爐門傳動是采用蝸輪減速機和電動機組合電動升降。 

　　密封：臺車與爐體密封采用迷宮式結構，并在臺車側有自動沙封刀密封裝置。爐門密封采用滾道式壓緊和彈簧壓緊自動機構密封該爐爐體部分采用耐火磚結構，爐膛密封性。在臺車耐壓部分采用高鋁磚砌筑，下部均添保溫磚保溫。 

　　燃燒系統：在油爐兩側各安裝數只燒咀，熱流在爐內往復循環，確保爐溫均勻性。根據需要可選定自動型和半自動型。 

　　排煙預熱裝置：在爐后上端安裝了排煙預熱裝置，爐內的煙氣通過預熱器時，由風機送入冷風進行預熱，再由管路送至燒咀進行助燃，并在出口安裝一只手動碟閥，該閥可調節爐內壓力。廣泛應用于化工、石油、食品、冶金、機械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫藥、集中供熱等工業部門的加熱、冷卻、冷凝、蒸發等工藝過程中。

 

快速退火爐的應用領域：

 

離子注入/接觸退火；

快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；

可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同氣體氛圍環境下使用；

SiAu, SiAl, SiMo合金化；

低介電材料；

晶體化，致密化；

太陽能電池片鍵合；

電阻燒結

其他熱工藝需求