CVD管式爐由管式爐+真空系統+供氣系統組成，溫度可以達到1200度，可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

　　本產品采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。

　　應用范圍：

　　CVD管式爐是一種特殊的CVD系統，是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。

 

　　產品特點：

　　1、采用K型熱電偶測溫，測溫準備；

　　2、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結構；

　　3、采用石英管、兩端用不銹鋼法蘭密封；

　　4、取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作；

　　5、取消了復雜的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能；

　　6、采用雙層殼體結構，內層為不銹鋼結構，外殼為碳鋼；

　　7、雙層爐殼間配有風冷系統，能使爐體表面快速降溫，爐殼表面溫度小于60度；

　　8、加熱爐膛由上下兩部分組成，其中上部爐膛可整體向后翻轉110°，方便取放、觀察實驗物料，爐膛材料采用進口高純氧化鋁多晶體纖維材料制成，節能50%，溫場均勻；

　　9、加熱元件采用高電阻合金絲OCr27Al7Mo2，電阻絲位于爐膛四周，溫度均勻性高，溫場效果較好。