CVD管式爐由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成，溫度可以達(dá)到1200度，可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

　　本產(chǎn)品采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。

　　應(yīng)用范圍：

　　CVD管式爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。

 

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　1、采用K型熱電偶測溫，測溫準(zhǔn)備；

　　2、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結(jié)構(gòu)；

　　3、采用石英管、兩端用不銹鋼法蘭密封；

　　4、取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作；

　　5、取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能；

　　6、采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，內(nèi)層為不銹鋼結(jié)構(gòu)，外殼為碳鋼；

　　7、雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能使?fàn)t體表面快速降溫，爐殼表面溫度小于60度；

　　8、加熱爐膛由上下兩部分組成，其中上部爐膛可整體向后翻轉(zhuǎn)110°，方便取放、觀察實(shí)驗(yàn)物料，爐膛材料采用進(jìn)口高純氧化鋁多晶體纖維材料制成，節(jié)能50%，溫場均勻；

　　9、加熱元件采用高電阻合金絲OCr27Al7Mo2，電阻絲位于爐膛四周，溫度均勻性高，溫場效果較好。