真空快速退火爐采用了成儀自主研發的智能AIO控制系統，實現了爐膛自動左右移動，爐膛在左側加熱到設定溫度后，直接移動到右側樣品區域，實現樣品快速升溫，樣品加熱到設定溫度和時間后，爐膛自動移開樣品加熱區，實現樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統不但實現了真空系統開啟、保護氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動協調控制，而且還能自動平衡爐管內的壓力大小，真正實現了操作方便，而且安全可靠。

 

　　真空快速退火爐主要適用于不銹鋼拉深件如水暖器材、水脹件、銷、醫療器械、不銹鋼釘、不銹鋼鏍絲、壓鉚件、不銹鋼軸承、表殼、表帶、刀具、微型軸、自攻自鉆、餐具等不銹鋼制品在保護氣氛控制下進行連續光亮退火、固溶、退磁及不銹鋼淬火處理的多用爐。處理后產品表面光潔、不氧化、不脫碳。具有生產效率高、能耗低、污染少、操作使用方便，勞動強度低等優點。

　　產品特點：

　　1、 紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風冷；

　　2、加熱由功率控制而非電壓控制，避免了由于燈絲老化電阻改變導致的后續使用中加熱不均的問題，了良好的重現性及均溫性，即使在后續使用過程中更換了部分新的燈管也可以達到初的熱處理效果；

　　3、石英腔體，腔體冷卻采用水冷，冷壁設計，雙層不銹鋼；

　　4、反應腔室的設計，氣體的進入口設計在wafer的表面，避免在退火過程中冷點的產生。很好的了樣品在加熱過程中的均溫性；

　　5、快速數字PID控溫；

　　6、熱電偶設計上采用中間和邊緣安裝模式，測試的樣品的溫度，控溫；

　　7、大氣和真空工藝均適合，凈化氣體配針閥；

　　8、多3工藝氣體，配數字質量流量控制器；

　　9、電腦通過以太網連接更快的數據傳輸速度；

　　10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設計，用于小樣品測試；

　　11、可選配分子泵，用于高真空測試；

　　12、可選配雙腔體設計, 達到高潔凈工藝，避免交叉污染。