真空管式爐是在真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。

 

真空管式爐使用簡單、運(yùn)行可靠、抗干擾能力強(qiáng)、控制穩(wěn)定、調(diào)整方便、美觀適用等特點(diǎn)。它的爐門打開時(shí)有自動(dòng)斷電功能，大程度了使用者的安全。整個(gè)設(shè)備與普通重質(zhì)耐火爐膛相比具有爐膛蓄熱小、升溫快、升降溫速率調(diào)節(jié)范圍大、節(jié)能效果明顯。

 

使用的注意事項(xiàng)有哪些？

 

1、在實(shí)驗(yàn)工作完畢以后，要關(guān)特殊氣體，保留N2流動(dòng)即可。真空氣氛爐管要保持在standby溫度，并要仔細(xì)查看其它電源是否關(guān)閉，如果沒有就隨手關(guān)閉。

2、在晶片進(jìn)出爐口承接boat的holder的時(shí)候，盡量不要碰觸管式爐的爐管口，以免爐管受到污染。

3、在沒有使用到時(shí)，要將爐子的長短推桿的前端朝上放置，以免污染。

4、在使用管電爐時(shí)還要避免吸入從爐子或者是處理槽所冒出的各種氣體，以便發(fā)生中毒的情況。

5、工件--工件車須經(jīng)清洗干燥后方克進(jìn)入爐內(nèi)，防止水份、污物進(jìn)入爐內(nèi)。

6、各傳動(dòng)件發(fā)現(xiàn)卡位，限位不準(zhǔn)，控制失靈等現(xiàn)象時(shí)，應(yīng)立即排除，不要強(qiáng)操作，以免損壞機(jī)件。