CVD（化學(xué)氣相沉積）系統(tǒng)，通過(guò)氣態(tài)前驅(qū)體在基體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)薄膜涂層，可制備金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、金剛石、各類功能薄膜，薄膜均勻性好、附著力強(qiáng)，廣泛用于半導(dǎo)體、新能源、新材料、航空航天、科研高校等領(lǐng)域。

1. 半導(dǎo)體與微電子行業(yè)

芯片制造核心工藝：沉積多晶硅、氧化硅、氮化硅、鎢、鈦等介質(zhì)層與金屬薄膜，用于邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片的絕緣層、鈍化層、柵極、金屬互連線路。

MEMS 微機(jī)電器件：微傳感器、微執(zhí)行器，制備絕緣與結(jié)構(gòu)薄膜，保障微型器件絕緣、抗腐蝕。

功率半導(dǎo)體 IGBT、MOSFET：沉積鈍化保護(hù)層，提升器件耐壓、可靠性。

2. 光伏與新能源

晶硅光伏電池：制備氮化硅減反鈍化膜，降低光反射，提升電池轉(zhuǎn)換效率；TOPCon、HJT 電池中沉積多晶硅、鈍化層薄膜。

鈣鈦礦電池：部分 CVD 工藝用于傳輸層薄膜制備。

固態(tài)電池：電解質(zhì)薄膜沉積，開(kāi)發(fā)薄膜型固態(tài)儲(chǔ)能器件。

3. 硬質(zhì)涂層與刀具模具（硬質(zhì) CVD）

切削刀具：沉積 TiN、TiCN、Al?O?硬質(zhì)涂層，提高刀具硬度、耐磨、耐高溫，用于鋼鐵、合金切削加工。

模具、耐磨零部件：提升模具抗磨損、抗咬合，延長(zhǎng)沖壓、壓鑄模具使用壽命。

4. 金剛石薄膜制備

CVD 金剛石：制備多晶金剛石薄膜，用于刀具、散熱片、光學(xué)窗口、傳感器。

熱管理：金剛石超高導(dǎo)熱，用于高功率芯片、激光器散熱基板。

光學(xué)：紅外、紫外光學(xué)窗口，抗腐蝕光學(xué)鏡片。

5. 航空航天與裝備

高溫防護(hù)涂層：在高溫合金構(gòu)件表面沉積抗高溫氧化、抗熱腐蝕涂層，用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)熱端部件，抵御高溫燃?xì)馇治g。

零部件耐磨防腐：航空精密零部件耐磨涂層，提升復(fù)雜工況使用壽命。

6. 顯示與光電子

OLED、Micro?LED：部分 CVD 設(shè)備用于絕緣層、鈍化層薄膜沉積。

光學(xué)器件：制備各類光學(xué)介質(zhì)膜，濾光片、增透膜，激光器諧振腔薄膜。

7. 科研高校與新材料研發(fā)

二維材料制備：石墨烯、MoS?等二維材料薄膜生長(zhǎng)，材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)室主流設(shè)備。

新材料開(kāi)發(fā)：新型陶瓷、納米薄膜、功能涂層小批量實(shí)驗(yàn)，新材料機(jī)理研究。

8. 醫(yī)療器械

生物兼容涂層：沉積類金剛石 DLC 涂層，用于骨科植入件、手術(shù)器械，提升耐磨、耐腐蝕、生物相容性。

9. 其它工業(yè)領(lǐng)域

防腐涂層：閥門、管件抗腐蝕薄膜，應(yīng)對(duì)強(qiáng)腐蝕工況。

傳感器：氣體傳感器、壓力傳感器功能薄膜。