真空氣氛箱式爐是一種可在真空或可控氣氛環(huán)境下進(jìn)行高溫?zé)崽幚淼木軐?shí)驗(yàn)設(shè)備。該設(shè)備采用高潔凈度的石英腔體，配合精密的溫度控制系統(tǒng)與氣體氛圍調(diào)控系統(tǒng)，能夠滿足對(duì)材料潔凈度與處理氣氛有嚴(yán)苛要求的工藝。其廣泛應(yīng)用于金屬熱處理、鋰電池材料、半導(dǎo)體及電子材料研發(fā)等領(lǐng)域。