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CVD化學氣相沉積系統 薄膜制備好幫手
更新時間:2026-8-5熱點推薦
CVD化學氣相沉積系統 薄膜制備好幫手

CVD(化學氣相沉積)系統,通過氣態前驅體在基體表面發生化學反應,生成固態薄膜涂層,可制備金屬、陶瓷、半導體、金剛石、各類功能薄膜,薄膜均勻性好、附著力強,廣泛用于半導體、新能源、新材料、航空航天、科研高校等領域。1.半導體與微電子行業芯片制造核心工藝:沉積多晶硅、氧化硅、氮化硅...

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  • 2017-11

    17

    真空干燥箱的操作規范

    真空干燥箱是專為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質而設計的,工作時可使工作室內保持一定的真空度,并能夠向內部充入惰性氣體,特別是一些成分復雜的物品也能進行快速干燥,采用智能型數字溫度調節儀進行溫度的設定、顯示與控制。那么真空干燥箱的如何正確操作使用呢?1、首先真空干燥箱放置處要有一定的空間,四面離離墻體要有一定距離,建議要有2米以上,并安置在室內干凈的水平處,要保持干燥,做好防潮和防濕,并要防止腐蝕。2、定期檢查檢查電壓,較小的干燥箱所需電壓為220V,較大的到干燥箱所需電壓為3...

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  • 2017-11

    13

    立式高溫管式爐內外部結構系統說明

    立式高溫管式爐由加熱爐本體和余熱回收系統組成,管式加熱爐爐體內設置有煙囪檔板,加熱爐本體于煙囪檔板下方設置有高溫煙氣出口,余熱回收系統包括空氣預熱器,其特征在于空氣預熱器由非冷凝式空氣預熱器和冷凝式空氣預熱器兩段組成。外形呈一橫置的圓柱體,它安置于由薄鋼板制成的底座上。爐殼用薄鋼板圈焊而成,工作室為碳化硅或氧化鋁耐火材料制成的管形爐膛,爐膛外表面制有螺旋形的單絲槽,鐵鉻鋁合金絲繞于絲槽內。爐膛兩端用耐火材料制成的爐圈固定于爐蓋上。爐膛與爐殼之間用硅酸鋁耐火纖維制品等材料砌筑為...

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  • 2017-11

    10

    CVD管式爐的制備條件說明

    CVD管式爐特點:淀積溫度低,薄膜成份易控,膜厚與淀積時間成正比,均勻性,重復性好,臺階覆蓋性優良。制備的必要條件1)在沉積溫度下,反應物具有足夠的蒸氣壓,并能以適當的速度被引入反應室;2)反應產物除了形成固態薄膜物質外,都必須是揮發性的;3)沉積薄膜和基體材料必須具有足夠低的蒸氣壓。何為CVD管式爐?CVD是ChemicalVaporDeposition的簡稱,是指高溫下的氣相反應,例如,金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解,氫還原或使它的混合氣體在高溫下發生化學反應...

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  • 2017-10

    30

    高溫干燥箱的使用方法

    高溫干燥箱,也稱為高溫烘箱,就是溫度高于300攝氏度的烘箱,因為當烘箱溫度高于300攝氏度之后,其對烘箱本身的材質有很大要求,這比低溫烘箱的要求高得多。高溫干燥箱可供工礦企業、醫療機構、科研單位、大專院校等作干燥、烘焙、熔臘、滅菌固化之用。高溫干燥箱的使用方法:1、通電前,先檢查烘箱的電器性能,并應注意是否有短路或漏電現象。2、一切準備就緒,可放入試品,關上箱門。3、先合上配電箱內開關,再打開烘箱前面電源開關,儀表綠燈亮,溫控表有溫度顯示出現,上方紅色數字為箱內溫度,下方綠色...

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  • 2017-10

    25

    紅外干燥箱使用的注意事項

    紅外干燥箱是利用紅外線使物體迅速吸收熱量快速加熱以便達到干燥的目的,廣泛用于實驗室試樣藥品的干燥、烘焙,具有快速、方便、無污染等優點。紅外干燥箱使用的注意事項:1.紅外干燥箱放置處要有一定的空間,四面離墻體要有一定距離,建議要有2M以上。2.烘的物品排列不能太密。遠紅外干燥箱底部(散熱板)上不可放物品,以免影響熱風循環。3.禁止烘賠易燃、易爆物品及有揮發性和有腐蝕性的物品。4.烘賠完畢后先切斷電源,然后方可打開工作室門,切記不能直接用手接觸烘賠的物品,要用的工具或帶隔熱手套取...

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  • 2017-10

    18

    退火爐的工作方式和幾種分類方法

    快速退火爐是以碘鎢燈管為發熱元件,升溫速度極快,采用S型熱電偶測溫并采用的模糊PID控制,具有很高的控溫精度〈±5℃〉,快速退火爐具有真空裝置,可在多種氣氛下工作。退火爐的工作方式:退火爐制造為方形或圓形爐體結構,爐膛安裝耐火磚和硅酸鋁纖維復合保溫,或以全纖維保溫爐襯結構,工件放置在爐膛內,通過電加熱方式,或燃油、燃氣方式加熱爐膛內工件,在自然氣氛或保護氣氛下將工件加熱到需要的退火工藝溫度,保溫一段時間后,自然冷卻或控制速度冷卻。退火爐系列由于種類繁多,操作方式...

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  • 2017-10

    16

    分析升降坩堝爐的優點特點

    一、升降坩堝爐的操作便捷性:1、升降爐門,采用機械傳動,平穩均勻升降。2、爐門降下后,用簡單工具就能取物料,方便快捷。3、爐門自動開啟,一鍵開啟關閉,操作簡便。二、升降坩堝爐的結構實用性;1、爐膛材料采用的多晶莫來纖維真空吸附制成,節能50%,溫場均勻。電熱元件采用表面溫度1700讀的硅鉬棒和1500度的硅碳棒。2、的空氣隔熱技術,結合熱感應技術,當爐體表面溫升到達50℃時,排溫風扇將自動啟動,使爐體表面快速降溫。3、立式結構,圓型爐膛溫場更加均勻。三、升降坩堝爐的使用安全性...

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  • 2017-10

    14

    高溫管式爐使用注意事項

    高溫管式爐主要用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業做粉末焙燒、陶瓷燒結、高溫實驗、材料處理、質高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等。高溫管式爐使用注意事項:1、程序設定溫度不得高于電爐參數溫度。2、電爐工作時,不得打開爐門。取產品時,應等到爐溫100℃以下。3、升溫加熱時,加熱功率不得超過6KW,否則將損傷加熱元件。4、處理HF時,請戴手套,如不小心碰到HF時,請立刻沖水,用葡萄酸鈣加2...

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