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CVD化學氣相沉積系統 薄膜制備好幫手
更新時間:2026-8-5熱點推薦
CVD化學氣相沉積系統 薄膜制備好幫手

CVD(化學氣相沉積)系統,通過氣態前驅體在基體表面發生化學反應,生成固態薄膜涂層,可制備金屬、陶瓷、半導體、金剛石、各類功能薄膜,薄膜均勻性好、附著力強,廣泛用于半導體、新能源、新材料、航空航天、科研高校等領域。1.半導體與微電子行業芯片制造核心工藝:沉積多晶硅、氧化硅、氮化硅...

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  • 2016-9

    21

    簡單了解下立式熱氧化爐

    產品名稱立式熱氧化爐產品編號000000特點PLC觸屏可控制設置爐體程序,升降樣品的程序設定。例如保溫2小時后下降冷卻15分鐘;升降次數可設定。包括冷卻氣的開和關。用途熱氧化等溫區單溫區zui高溫度1200℃控溫儀表國產程序溫控儀50段程序控溫(可選擇觸摸屏)加熱區長度420mm爐膛尺寸0恒溫區長度200mm爐管尺寸φ100mmx700mm爐管材質定制異性石英管(見圖紙)加熱元件高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo2額定功率3kw工作電壓220V外形尺寸0其它參數1、立式爐原...

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  • 2016-9

    12

    井式坩堝爐操特點:

    井式坩堝爐操特點:1)升降爐門,采用機械傳動,平穩均勻升降。2)爐門降下后,用簡單工具就能取物料,方便快捷。3)爐門自動開啟,一鍵開啟關閉,操作簡便。4)爐膛材料采用的多晶莫來纖維真空吸附制成,節能50%,溫場均勻。電熱元件采用表面溫度1700讀的硅鉬棒和1500度的硅碳棒。5)的空氣隔熱技術,結合熱感應技術,當爐體表面溫升到達50℃時,排溫風扇將自動啟動,使爐體表面快速降溫。6)立式結構,圓型爐膛溫場更加均勻。7)超溫保護功能,當溫度超過允許設定值后,自動斷電及報警。8)漏...

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  • 2016-8

    31

    真空氣氛箱式爐的優點

    真空氣氛箱式爐的四大優點:1、使用安全:1)超溫保護功能,當溫度超過允許設定值后,自動斷電及報警。2)漏電保護功能,當爐體漏電時自動斷電。2、控制智能化:1)電爐溫度控制系統采用人工智能調節技術,具有PID調節、模糊控制、自整定功能,并可編制各種升降溫程序。2)國產智能控溫系統可定值升溫(不可編程),國產程序控溫系統可編輯50段程序控溫,進口程序控溫系統可編輯40段程序控溫。3)電爐內配置有485轉換接口,可實現與計算機相互連接。通過的計算機控制系統來完成與單臺或多達200臺...

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  • 2016-8

    22

    多工位管式爐的結構性能

    多工位管式爐產品系周期作業,供企業實驗室,大專院校,科研院所等單位選用,設備為用戶提供具體真空、可控氣氛及高溫的實驗環境,應用在半導體,納米技術,碳纖維等新材料新工藝領域薄膜沉積爐、氣相沉積爐、納米材料爐。多工位管式爐的結構實用性;1)加熱爐膛有上下兩部分組成,其中上部爐膛可整體向后翻轉110°,方便取放、觀察實驗物料,爐膛材料采用的多晶莫來纖維真空吸附制成,節能50%,溫場均勻。電熱元件采取高電阻合金絲0Cr27Al7Mo2。2)密封法蘭采用雙環密封技術,有效的提高了爐管兩...

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  • 2016-8

    10

    如何維護使用RTP快速退火爐

    RTP快速退火爐的維修使用:1)爐子使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內的清潔。2)爐膛若采用石英管,當溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現不透明現象,這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的一個固有缺陷,屬正常現象。3)冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易...

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  • 2016-7

    26

    管式真空氣氛爐的構造解說

    管式真空氣氛爐采用技術,高性能高節能的新型電爐具有合理的結構,采用通用的陶瓷纖維板經*工藝構筑爐膛,并采用多段智能型程序控制器全過程自動控制溫度,綜合性能指標較高,處于國內水平。zui高額定溫度分別為1000℃、1200℃、1400℃,1600℃、1700℃等。管式真空氣氛爐采用型雙爐膛結構,特殊的爐頂搭建技術,既有升溫速度快,又有超溫不塌陷,高溫不掉灰的特點,采用真空成形工藝技術生產的無極纖維作為爐膛的保溫材料和特殊的絕熱設計。1000℃、1200℃是電爐絲加熱,設置在爐膛...

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  • 2016-7

    21

    高溫管式爐的9大特點

    高溫管式爐主要應用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業做粉末焙燒、陶瓷燒結、高溫實驗、材料處理、質高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等。高溫管式爐9大特點:1)zui高溫度1600℃。2)采用真空成型工藝技術生產的進口無機纖維作為爐膛的保溫材料和特殊的絕熱設計。3)加熱元件為硅鉬棒,硅鉬棒分別設置在爐膛內的左右二個面上,硅鉬棒可以更換,爐內的溫場穩定度±5℃。4)爐體采用雙層...

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  • 2016-7

    13

    流化床立式管式爐耐用節能效果好

    流化床立式管式爐適用于納米材料、化學分析、物理測定、金屬燒結等實驗。同時可以根據用戶需求,可配套氣氛管路、流量計、真空系統。爐膛采用進口的氧化鋁多晶纖維制成,保溫效果好,耐用節能。加熱元件采用合金絲0Cr27Al7Mo2,具有表面負荷高、電阻率高、抗氧化性能好、經久耐用等特點,zui高溫度可達1200℃;爐管采用高純石英管,高溫下化學穩定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數極小,能承受驟冷驟熱的溫度變化。爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料,并能迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實驗需要;預留了...

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