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RTP滑動式快速退火爐
RTP滑動式快速退火爐
RTP滑動式快速退火爐

更新時間:2026-07-29

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

瀏覽量:264

產(chǎn)品簡介:

RTP滑動式快速退火爐,該電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗。

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產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品用途:

RTP滑動式快速退火爐,該電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗。

產(chǎn)品特點:

可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動爐體,加之強風(fēng)冷設(shè)計,可對樣品進行快速升降溫處理;溫控精度高,最大升溫速率30℃/s;緊湊的臺式設(shè)計,快速連接法蘭,減少了爐管因安裝造成損壞的可能,方便操作。 

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

RTP滑動式快速退火爐

產(chǎn)品型號

RTP-G11103-K

額定功率

9KW

最高溫度

1000℃

工作溫度

950℃(<1小時

石英管尺寸

Φ110*360mm

加熱區(qū)長度

190mm

恒溫區(qū)長度

100mm

加熱元件

紅外燈管

溫度控制

國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫

控溫定度

±1℃

爐管材質(zhì)

石英管

滑動距離

355mm

滑動方式

手動

建議升降溫速

30-50℃/min

外形尺寸

565*960*665





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