網(wǎng)站首頁 產(chǎn)品系列 管式電爐系列 RTP快速退火爐 RTP滑動式快速退火爐
返回列表更新時間:2026-07-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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產(chǎn)品分類Product Categories
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產(chǎn)品用途:
RTP滑動式快速退火爐,該電爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗。
產(chǎn)品特點:
可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動爐體,加之強風(fēng)冷設(shè)計,可對樣品進行快速升降溫處理;溫控精度高,最大升溫速率30℃/s;緊湊的臺式設(shè)計,快速連接法蘭,減少了爐管因安裝造成損壞的可能,方便操作。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | RTP滑動式快速退火爐 |
產(chǎn)品型號 | RTP-G11103-K |
額定功率 | 9KW |
最高溫度 | 1000℃ |
工作溫度 | 950℃(<1小時) |
石英管尺寸 | Φ110*360mm |
加熱區(qū)長度 | 190mm |
恒溫區(qū)長度 | 100mm |
加熱元件 | 紅外燈管 |
溫度控制 | 國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫 |
控溫定度 | ±1℃ |
爐管材質(zhì) | 石英管 |
滑動距離 | 355mm |
滑動方式 | 手動 |
建議升降溫速度 | 30℃-50℃/min |
外形尺寸 | 565*960*665 |
電話:022-26980130
郵箱:15122725930@163.com
地址:天津市北辰經(jīng)濟開發(fā)區(qū)雙川道11號
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