網站首頁 產品系列 CVD設備/PECVD系統 PECVD系統 預加熱滑動PECVD系統_1200℃_實驗爐
返回列表更新時間：2026-09-17
廠商性質：生產廠家
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預加熱滑動PECVD系統_1200℃_實驗爐，PECVD系統是一種 Plasma 增強 CVD系統(PECVD)，在傳統 CVD系統的前端加入RF 射頻感應裝置將反應氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應，降低氣相沉積反應溫度，沉積速度快，成膜質量好。包含加熱系統、控溫系統、射頻電源、滑動裝置、質量氣體流量控制、真空控制系統、預加熱系統等模塊，根據工藝要求多模塊自由組合，并可擴展升級配置，節約成本。適用于Plasma增強化學氣相沉積工藝。
PECVD系統-產品用途:
PECVD系統可以用于二維材料制備、石墨烯生長、TMDs材料制備、二硫化鉬、薄膜材料制備、氧化物薄膜、碳化物薄膜、氮化物薄膜、金剛石薄膜、金屬涂層、碳納米管生長、Zn0納米結構生長、新晶體材料、陶瓷纖維、陶瓷電容氣氛燒結、非晶態合金、粉體材料氣氛燒結、等離子表面改性等離子聚合、等離子清洗等
預加熱PECVD系統配置:
1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐
2.手動、電動滑動系統
3.預加熱開啟式管式電爐
4.等離子射頻電源
5.多路質量流量控制系統
6.真空控制系統(可選配中真空或高真空)
產品特點：
生長溫度低；沉積速率快；成膜質量好，適用范圍廣，設備簡單。
產品參數：預加熱滑動PECVD系統_1200℃_實驗爐
系統名稱 | 1200℃(含滑動式)單/多溫區PECVD系統 | |||
系統型號 | PECVD-12IH-500A | PECVD-12II-3Z/G | PECVD-12IIH-3Z/G | PECVD-Y12IIH-3Z/G |
最高溫度 | 1200℃ | |||
加熱區長度 | 200mm | 420mm | ||
恒溫區長度 | 70mm | 200mm | ||
溫區 | 單溫區 | 雙溫區 | ||
石英管管徑 | Φ50/Φ60/Φ80/Φ100mm | |||
額定功率 | 1.2Kw | 3.2Kw | 6.2Kw | |
額定電壓 | 220V | |||
滑動距離 | 200mm | 380mm | ||
滑動方式 | 手動滑動/自動滑動(由溫度控制器自動控制移動。當程序完成，爐子按設定的速度滑動) | |||
溫度控制 | 國產程序控溫系統50段程序控溫 | |||
控制精度 | ±1℃ | |||
爐管最高工作溫度 | <1200℃ | |||
氣路法蘭 | 采用多環密封技術卡箍快速連接 | |||
排風冷卻裝置 | 先進的空氣隔熱技術，結合熱感應技術，當爐體表面溫升到50℃時，排溫風扇將自動啟動，使爐體表面快速降溫 | |||
氣體控制方式 | 質量流量計(按鍵式) | |||
氣路數量 | 1～3路(可根據具體需要選配氣路數量) | |||
流量范圍 | 0-500sccm(標準毫升/分，可選配)氮氣標定 | |||
精度 | ±1%F.S | |||
響應時間 | 1sec | |||
工作溫度(流量計) | 5-45℃ | |||
工作壓力 | 進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力) | |||
進氣方式 | 采用防倒流設計 | |||
規格 | 中真空 | 高真空 | ||
系統真空范圍 | 1-1000Pa(可選配其它量程) | 10-1x10-3Pa | ||
真空泵 | 雙極機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽泣速率4L/S (選配：其它抽速真空泵),出氣口配有油霧過濾器， 額定電壓220V,功率0.55Kw | 真空分子泵理論極限真空度真空分子泵理論極限真空度 5x10-Pa,抽泣速率1200L/S(選配：5x10-6Pa,抽泣速率1600L/S(選配： 其它抽速真空泵),出氣口配有油霧 其它抽速真空泵),出氣口配有油霧 過濾器，額定電壓220V,功率2Kw 過濾器，額定電壓220V,功率2Kw | ||
信號頻率 | 13.56MHz±0.005% | |||
功率輸出范圍 | 0-100W | 1-500W | ||
最大反射功率 | ≤1% | |||
工作功率 | ≤70W | ≤350W | ||
射頻輸出接口 | 50Ω,N-type,temale | |||
功率穩定度 | ±0.1% | |||
諧波分量 | ≤-50dbc | |||
供電電壓 | 單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ | |||
冷卻方式 | 風冷 | |||
整機功率 | ≤70% | |||
屏幕顯示 | 正方向功率，匹配器電容位置，偏置電壓值 | |||
系統外形尺寸 | 530×1440×750mm | 530×1440×750mm 530×1740×750mm | ||
系統總重量 | 230Kg | 230Kg | 290Kg | 330Kg |
