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CVD化學氣相沉積系統 薄膜制備好幫手
更新時間:2026-8-5熱點推薦
CVD化學氣相沉積系統 薄膜制備好幫手

CVD(化學氣相沉積)系統,通過氣態前驅體在基體表面發生化學反應,生成固態薄膜涂層,可制備金屬、陶瓷、半導體、金剛石、各類功能薄膜,薄膜均勻性好、附著力強,廣泛用于半導體、新能源、新材料、航空航天、科研高校等領域。1.半導體與微電子行業芯片制造核心工藝:沉積多晶硅、氧化硅、氮化硅...

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  • 2015-6

    29

    如何選擇箱式馬弗爐的發熱元件

    箱式馬弗爐系周期作業式,供實驗室、工礦企業、科研單位作元素分析測定和一般小型鋼件淬火、退火、回火等熱處理時加熱用。發熱元件是箱式馬弗爐的一個重要部件,如何選擇發熱元件呢?小編總結如下:1.硅碳棒,它分布在箱式馬弗爐爐膛的左右或者四周碳棒是選用綠化碳化硅材料為主要原料,經輕加工制呸、高溫硅化、在結晶而成的棒狀的非金屬高溫電熱元件。該元件與金屬電熱元件相比,具有使用溫度高、抗氧化、耐腐蝕、壽命長、變形微、安裝維修方便等優點。硅碳棒具有較大的比電阻,在空氣中加熱,發熱部表面溫度可以...

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  • 2013-7

    15

    鋰離子電池的制備工藝

    正極材料(磷酸鐵鋰)的一般制備工藝:A鐵源+磷源(其它試劑,調節pH,水熱法)磷酸鐵(前軀體)經干燥和粉磨+鋰源(混合后通氣燒結)磷酸鐵鋰成品B鐵源+磷源+鋰源(加離子水、球磨、110℃二次球磨)磷酸鐵鋰(前軀體)預燒結(350℃左右)、通氣燒結(750-950℃)磷酸鐵鋰成品通過上例,可以看出磷酸鐵鋰的兩種制法都有高溫燒結的階段。負極材料方面,多在錳酸鹽(如ZnMn2O4)、鈦酸鹽(如Li4TiO12)的制備和纖維碳化過程中需要高溫條件,此處不再舉例。高溫燒結階段即旋轉管式...

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  • 2013-6

    26

    高溫電阻爐電極的冷卻方法

    電極是高溫電阻爐生產中最重要、昂貴的消耗部件之一,直接影響了設備的使用效率,其電極使用壽命高低對電爐生產產量和成本均有直接的影響。而采用噴嘴噴水對高溫電極直接噴水冷卻是提高電極壽命的簡單且有效的方法之一。其原理是通過噴嘴將水均勻噴灑到電極的表面,水沿著電極表面向下流動,在距離鋼液面一定高度前全部蒸發,起到冷卻電極表面、提高其表面強度、降低消耗的作用,同是水又不會進入爐料內,這樣及冷卻了高溫電阻爐的電極,又經濟沒有污染,是設備電極降溫的主要方法。高溫電阻爐電極冷卻的關鍵有兩點:...

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  • 2013-6

    26

    影響高溫馬弗電爐的效率因素分析

    影響高溫馬弗電爐的因素跟多,而爐型結構是直接影響高溫爐和馬弗爐的工作效率。下面我們詳細了解一下!高溫爐,馬弗爐的爐型結構對電爐工作效率的影響。1、高溫爐和馬弗爐的爐型向著大型化、多段化、機械化、自動化方向發展。爐子為了加強供熱提高產量,出現五點、六點甚至八點供熱的大型加熱爐,預熱段因溫度提高成了新的加熱段。燒嘴的安裝形式也很多變化,例如配置了上下加熱的順向反向燒嘴;均熱鍛采用爐頂平焰燒嘴,甚至爐型演變為全長都是平頂,全部用爐頂燒嘴;為了使爐溫制度和爐膛壓力分布的調節更加靈活,...

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  • 2013-5

    22

    真空管式爐——1200度多工位旋轉管式爐

    SK-G06123K-RSK-G06123K-2R溫區單溫區雙溫區zui高溫度1200℃加熱區長度國產程420mm段程序恒溫區長度210mm280mm加熱元件高電阻合金絲OCr27Al7Mo2空爐升溫時間額定功率3Kw3.2Kw額定電壓220V溫度控制國產程序控溫系統可編輯50段程序控溫;進口程序控溫系統可編輯40段程序控溫;控溫精度±1℃石英管尺寸(mm)Φ60x1000/Φ90x200mmΦ60x1000/Φ90x300mm爐...

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