Name: 高真空分子泵控制系統
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CVD系統/PECVD系統

PECVD系統 CVD系統

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產品詳情

一、操作便捷性：

抽氣口及氣路連接口采用KF式快速連接結構。簡化安裝過程，只需用卡箍便可完成連接，方便操作

二、控制智能化

1、采用數顯真空計，配合熱電偶規管采集數據。測量精度高、穩定性好、抗干擾能力強、真空度顯示采用科學計數法，數字顯

示，使用方便直觀。

2、該系統采用分子泵系高壓強耐沖擊，與的控制電源配套使用，提高了使用的可靠性，尤其當爐管密封系統與在使用過程

中的大氣相通，導致系統會自動停止工作，待爐管密封系統恢復正常仍可使用。

三、結構實用性：

1、內置雙級旋片式機械真空泵，有效地提高了抽氣效率。

2、本身作為真空控制系統的同時，也可作為活動平臺使用，方便放置電爐及其它設備。

四、周邊擴展性：

1、該真空控制系統可與公司生產的真空/氣氛管式電爐及真空/氣氛箱式電爐。

2、該真空控制系統可與公司生產的氣體流量控制系統組合使用。

3、該系統可作為真空獲得設備獨立使用。

產品用途：該系列產品應用在我公司生產的真空/氣氛管式電爐及真空/氣氛箱式電爐等設備上。是對爐管及箱體抽取真空、真空測量與自動控制為一體的真空控制系統總成。設備為用戶提供了具有真空度可控的實驗環境。

產品名稱	產品型號	真空泵機組參數		真空規管	控制方式	工作電壓	使用真空范圍適用本公司生產的真空管式電爐、真空箱式電爐	外形尺寸（mm）	重量(Kg)	標準配置
		雙級旋片真空泵	高壓強分子泵
高真空分子泵系統	ZX-FZ01	抽速4L/S 極限真空度3*10-1Pa	抽速 110L/S 極限真空度6*10-6Pa	熱偶規管電離規管	自動控制	AC220V ±5% 50HZ	10-1Pa～10-3Pa	530x770x750	100	熱偶規管一支電離規管一支波紋管一支
	ZX-FZ02	抽速6L/S 極限真空度3*10-1Pa	抽速 1200L/S極限真空度5*10-6Pa					600x650x1050	150
	ZX-FZ03	抽速 9L/S 極限真空度3*10-1Pa	抽速 1200L/S極限真空度5*10-6Pa
	ZX-FZ18	抽速 14L/S 極限真空度3*10-1Pa	抽速 1600L/S 極限真空度5*10-6Pa
	ZX-FZ36
	ZX-FZ90
	ZX-FZ220	抽速 18L/S 極限真空度3*10-1Pa	抽速 3600L/S極限真空度5*10-6Pa

1600℃雙溫區梯度管式電爐上一個產品

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高真空擴散泵控制系統下一個產品

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操作便捷性：抽氣口及氣路連接口采用KF式快速連接結構。簡化安裝過程，只需用卡箍便可完成連接，方便操作。

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