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CVD系統(tǒng)/PECVD系統(tǒng)

PECVD系統(tǒng) CVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品詳情

一、操作便捷性：

1、方便的氣路快速連接口，簡(jiǎn)化了流量控制系統(tǒng)與其他設(shè)備的鏈接。

2、配置有三種接口（寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口），方便組合多種連接方式。

二、控制智能化：

采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質(zhì)量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高，重復(fù)性好，響應(yīng)速度快，穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)（氣體質(zhì)量流量控制器）。

三、使用安全性：

1、采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，安全。

2、采用混氣灌裝置，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會(huì)泄漏。

四、周邊拓展性：

1、該氣體質(zhì)量控制系統(tǒng)可配我公司生產(chǎn)的真空/氣氛管式電爐及真空/氣氛箱式電爐使用。

2、該氣體流量控制系統(tǒng)可以與我公司生產(chǎn)的真空控制系統(tǒng)組合使用。

3、可為用戶定制多路氣路產(chǎn)品。

規(guī)格

產(chǎn)品型號(hào)

氣路數(shù)量

流量控制方式

連接方式

流量計(jì)

流量范圍

精度

響應(yīng)時(shí)間

工作溫度

工作壓力

外形尺寸mm

重量

標(biāo)準(zhǔn)配件

質(zhì)量流量

ZL-02H

兩路

數(shù)顯流量控制儀

雙卡套接頭

質(zhì)量流量計(jì)

0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分）氮?dú)鈽?biāo)定

±1%F.S

≤4sec

5-45℃

進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa

530x670x710

48kg

PUΦ6管/每路2米Φ4*15mm不銹鋼襯管5個(gè)

ZL-03H

三路

ZL-04H

四路

1600℃多溫區(qū)梯度管式電爐上一個(gè)產(chǎn)品

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1400℃升降坩堝電爐下一個(gè)產(chǎn)品

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操作便捷性：1、方便的氣路快速連接口，簡(jiǎn)化了流量控制系統(tǒng)與其他設(shè)備的鏈接。2、配置有三種接口（寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口），方便組合多種連接方式。

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