名稱

單溫區(qū)CVD集成系統(tǒng)

雙溫區(qū)CVD集成系統(tǒng)

系統(tǒng)型號

CVD-12H-1-3Z/G-A

CVD-12H-2-3Z/G-A

最高溫度

1200℃

加熱區(qū)長度

200mm

420mm

恒溫區(qū)長度

70mm

200mm

溫區(qū)

單溫區(qū)

雙溫區(qū)

石英管管徑

Φ50/Φ60/Φ80/Φ100mm

額定功率

1.2Kw

3.2Kw

額定電壓

220V

滑動距離

200mm

380mm

滑動方式

手動滑動/自動滑動(由溫度控制器自動控制移動。當程序完成，爐子按設定的速度滑動)

溫度控制

國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫

控制精度

±1℃

長期工作溫度

≤1100℃

氣路法蘭

采用多環(huán)密封技術(shù)卡箍快速連接

排風冷卻裝置

先進的空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合熱感應技術(shù)，當爐體表面溫升到50℃時，排溫風扇將自動啟動，使爐體表面快速降溫

氣體控制方式

質(zhì)量流量計(按鍵式)

氣路數(shù)量

1～3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)

流量范圍

0-500sccm(標準毫升/分，可選配)氮氣標定

精度

±1%F.S

響應時間

1sec

工作溫度(流量計)

5-45℃

工作壓力

進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

進氣方式

采用防倒流設計

規(guī)格

中真空

系統(tǒng)真空范圍

10-100Pa

真空泵

雙極機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽泣速率4L/S(選配：其它抽速真空泵),出氣口 配有油霧過濾器，額定電壓220V,功率0.55Kw

爐體外形尺寸

360×580×555mm

系統(tǒng)外形尺寸

530×1440×750mm

系統(tǒng)總重量

230Kg