網站首頁 產品系列 CVD系統/PECVD系統 高真空擴散泵控制系統
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更新時間：2026-07-30
廠商性質：生產廠家
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產品分類Product Categories
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一、操作便捷性：
抽氣口及氣路連接口采用KF式快速連接結構。簡化安裝過程，只需用卡箍便可完成連接，方便操作
二、控制智能化
1、采用數顯真空計，配合熱電偶規管采集數據。測量精度高、穩定性好、抗干擾能力強、真空度顯示采用科學計數法，數字顯
示，使用方便直觀。
2、該系統采用擴散泵系高壓強耐沖擊，與的控制電源配套使用，提高了使用的可靠性，尤其當爐管密封系統與在使用過程
中的大氣相通，導致系統會自動停止工作，待爐管密封系統恢復正常仍可使用。
三、結構實用性：
1、內置雙極旋片式機械真空泵，有效地提高了抽氣效率。
2、本身作為真空控制系統的同時，也可作為活動平臺使用，方便放置電爐及其它設備。
四、周邊擴展性：
1、該真空控制系統可與公司生產的真空/氣氛管式電爐及真空/氣氛箱式電爐。
2、該真空控制系統可與公司生產的氣體流量控制系統組合使用。
3、該系統可作為真空獲得設備獨立使用。
產品用途：該系列產品應用在我公司生產的真空/氣氛管式電爐及真空/氣氛箱式電爐等設備上。是對爐管及箱體抽取真空、真空
測量與自動控制為一體的真空控制系統總成。設備為用戶提供了具有真空度可控的實驗環境。
產品名稱 | 產品型號 | 真空泵機組參數 | 真空規管 | 控制方式 | 工作電壓 | 使用真空范圍適用本公司生產的真空管式電爐、真空箱式電爐 | 外形尺寸（mm） | 重量(Kg) | 標準配置 | |
雙級旋片真空泵 | 擴散泵 | |||||||||
高真空擴散泵系統 | ZX-KS03 | 抽速 8L/S極限真空度6*10-2Pa | 抽速 500L/S極限真空度1.3*10-4Pa | 熱偶規管 電離規管 | 自動控制 | AC380V±5%50HZ | 10-1Pa～10-2Pa | 600x650x1080 | 170 | 熱偶規管一支，電離規管一支，波紋管一支 |
ZX-KS18 | 抽速 15L/S極限真空度6*10-2Pa | 抽速 750L/S極限真空度1.3*10-4Pa | ||||||||
